臭氧具有解毒的作用，臭氧發生器能通過氧化反應有效去除有毒氣體如 ，芥子等。溶于水中的臭氧可氧化、分解從而有效去除水中的有毒物質如重金屬離子、有機毒物、氰化物以及敵敵畏、氧化樂果、馬拉硫酸等農藥。臭氧用于水消毒可以大大降低自來水中鹵代烴等有機致癌物。防腐保鮮：由于其對細菌、微生物強烈的殺滅作用，用臭氧水處理魚肉類及其他食品可以達到防腐、消除異味、保鮮的功效。在臭氧產生的同時還可以產生大量負離子氧，在空氣中有些負離子可有效抑制果蔬的呼吸作用，延緩其代謝過程。同時，臭氧可以殺滅引起果蔬腐爛的病原菌，分解果蔬貯藏過程中產生的具有催熟作用的代謝廢物如乙烯、醇類、醛類、芳香類等物質。這樣，在臭氧與負離子的作用下抑制了果蔬的新陳代謝及微生物病原菌的滋生蔓延從而延緩其后熟衰老、防止其腐爛變質，達到保鮮的效果。
 有研究表明，臭氧可使食品、飲料和果蔬的貯藏期延長3-10倍。臭氧對細菌繁殖體有關臭氧的殺菌試驗報告較多，李懷恩等觀察了臭氧對空氣中綠膿桿菌的殺滅作用。發現試驗溫度為15。C，相對濕度為73%-100%，臭氧濃度為0.08-0.67ppm時，經過30分鐘，其殺滅細菌率可達到99.9%以上。
 伍學洲等試驗觀察了臭氧發生器的性能，發現在無菌罩中經過發生器產生的臭氧經過10分鐘和30分鐘，對大腸桿菌殺滅率為100%，對金黃色葡萄球菌殺滅率為95.9%。在相對濕度為80%-92%，溫度為24-26。C，臭氧的濃度為129mg/M3條件下，消毒60分鐘對大腸桿菌殺滅率為99.9%，對金黃色葡萄球菌的菌殺滅率為99.9%。Burleson等試驗對熒光假單胞菌、鼠傷寒沙門氏菌、福氏痢疾桿菌作用15分鐘后以上細菌全部殺死。白希堯等試驗發現臭氧水浴液殺菌作用強大，且速度極快，作用1分鐘對大腸桿菌殺滅率為100%，對金黃色葡萄球菌的菌殺滅率為100%。②臭氧對細菌芽胞瞿發林等報告，以5.5mg/m3的臭氧作用下45分鐘，可將100mL塑料瓶內滴染的枯草桿菌黑色變種芽胞100%殺滅；居喜娟等報道，在1m3試驗柜內，開啟500mg/h的臭氧發生器60分鐘可對空氣中的枯草桿菌黑色變種芽胞殺滅率達 99.95%；歐陽川等在動態試驗條件下，將臭氧氣體通入染菌井水中，臭氧濃度達3.8-4.6mg/L時，作用3-10分鐘，水中枯草桿菌黑色變種芽孢殺滅率達99.999%。③臭氧對病毒李紹忱等試驗發現，經10.3mg/m3濃度臭氧作用30分鐘后，乙型肝炎表面抗原（HbsAg）的滴度從1:256降至1:64。史江等報告，臭氧濃度13.6mg/m3時使用30分鐘，使HbsAg破壞99.99%，使用甲型肝炎病毒抗原（HAAg）破壞100%；國外Wolo等實驗證明0.5ppm的臭氧可滅活空氣中的甲型流感病毒99%；Herbold等報告，在20℃水中，臭氧濃度為0.13mg/L時，可以100%的滅活脊髓灰質炎病毒I型（PVI）。臭氧滅活病毒速度極快，當臭氧濃度分別為0.09mg/L-0.8mg/L時，在反應最初5秒鐘內，噬菌體T2即可被滅活5-7個對數值。Finch發現水中含臭氧濃度40μg/L時，作用20秒鐘，可使大腸桿菌噬菌體ms2滅活4個對數值。Vaughn等在4℃條件下，對比了臭氧對猿輪狀病毒SA-H和人輪狀病毒2型的滅活效果,發現兩種病毒均能被0.25mg/L的臭氧迅速滅活。Crpend等檢測了經臭氧處理后的血清中愛滋病毒（HIV）的滅活情況，證明當臭氧濃度為4mg/L時，可將滴度為106CID50/mLHIV全部滅活，病毒滴度下降6個對數值。④臭氧對真菌汪華明等報道,臭氧濃度為9.6mg/L時，作用100分鐘對雜色曲霉與桃色擬毒霉的殺滅率達100%，對蠟葉枝孢霉23mg/L30分鐘、青黑霉在12.5mg/L作用35分鐘、桔青霉在15.4mg/L作用30分鐘，尖鐮孢霉在15.5mg/L時作用20分鐘，均可達100%滅活率。對于煙曲霉、細交鏈孢霉、爪哇毛霉等，在臭氧濃度為3.85-10.7mg/L時作用10-20分鐘滅活率達96.4%。伍學洲等發現，臭氧在30分鐘內對青霉菌的殺滅率為93.8%，對毛霉菌的殺滅率為100%；白希堯等報告，濃度為15mg/L的臭氧水溶液作用1分鐘，可100%地殺滅試驗中的黑曲霉和酵母。⑤臭氧對原蟲 Finch等比較了22℃時臭氧對蘭氏賈弟鞭毛蟲和鼠型賈弟鞭毛蟲色曩的滅活效果，當Ct值0.86mg.min/L時，可使鼠型賈弟鞭毛蟲減少4個對數值，Ct值為2.5mg.min/L時，使蘭氏賈弟鞭毛蟲減少4個對數值。Korich等比較了臭氧、二氧化氯、氯對凈化水中的微小隱孢子蟲卵囊的滅活作用試驗證明，1ppm的臭氧作用5分鐘可以滅活90%的卵囊，1.3ppm的二氧化氯則需作用1小時，80ppm的氯則需作用1.5小時才能達到同樣效果。⑥臭氧對SARS病毒在今年4月份流行的非典型肺炎是一種冠狀病毒的新變種。科學家對它的認識和最終的確認都歷經了較大的波折，臭氧作為優秀的消毒劑，一直沒有機會與SARS病毒"單刀赴會"，但是臭氧行業專家學者普遍認為，臭氧對SARS病毒一定會有效果。由于缺少第一手的實驗數據，所以只能從理論上進行推測。
 最近，中國臭氧產業聯合會技術委員會專家、國家P3實驗室主任李澤琳教授主持了利用臭氧進行滅活SARS病毒的實驗，實驗中對綠猴腎細胞接種的SARS病毒綜合滅合率為99。9%，而且經過三次重復實驗，都能達到很高的滅活率，取得圓滿的成功。據中國臭氧產業聯合會向國際臭氧協會檢索，此次利用臭氧滅活SARS病毒實驗是世界上的首例，它不但向社會提供了臭氧有效殺滅SARS病毒的科學依據，對中國乃至世界臭氧產業的發展產生影響，更重要的是，消費者可以放心的使用臭氧產品消滅SARS病毒。同期由中國環境科學院完成的對比性實驗證明，此次使用的臭氧完全符合環境安全的要求。